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LSIウェーハ用やチップ用の各種外観検査装置や、その他特殊仕様のプロセス 装置・検査装置をラインアップの紹介です。

ウェーハ形状測定器(端面形状測定機)セミオート/マニュアル機

ウェーハ形状測定器(端面形状測定機)セミオート/マニュアル機

ウェーハの外周断面形状、ノッチ形状を高精度に測定する装置です。

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