製品のご案内

EM製品

ウェーハ面取り機

ウェーハ面取り機

シリコン等のウェーハの面取り工程において、世界で初めてNC制御研削を実現 させた「エッジ・グラインダー」シリーズの紹介です。

洗浄機

洗浄機

手軽でコンパクトな純水系洗浄装置のシリーズの紹介です。ウェーハ用のスピン 洗浄から治具洗浄まで各種ラインアップの紹介です。

チップソータ

チップソータ

LSIベアチップの分類・管理用のウェーハ・チップソーター「WCSシリー ズ」の紹介です。

その他

その他

LSIウェーハ用やチップ用の各種外観検査装置や、その他特殊仕様のプロセス 装置・検査装置をラインアップの紹介です。

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